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吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。

沈阳诺思真空技术有限公司（原沈阳天成真空技术有限责任公司）成立于2012年，是以超高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。

生产管理的水平决定了企业整体管理水平，企业管理者应通过多种途径，提高企业的生产管理水平，追求***、低耗、均衡、安全的目标。此外，设备前期选型不当、设备老化、设备状态不佳、设备操作人员不熟练、工装夹具不适用等，都可能降低设备利用率。对于真空设备制造企业来说，管理者要转变观念，加强制度建设，以“标准化良好行为企业”创建活动为契机，一手抓产品营销，一手抓生产管理，提高企业的生产效率。

溅射技术的成就之一是磁控溅射。由于在磁控溅射中引入了正交电磁场使离化率提高到5~6%。于是溅射速率比三级溅射提高10倍左右，对许多材料，溅射速率达到了电子束蒸发的水平。

控溅射具有“低温”、“高速”两大特点。

磁控溅射是以磁场来改变电子的运动方向，并束缚和延长电子的运动轨迹，从而提高电子对工作气体的电离几率和有效的利用了电子的能量。因此，是正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。

所以磁控溅射具有“低温”“高速”这两大特点。