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真空镀膜的介绍

薄膜具有许多特有的性质，因此引起了科学工作者的极大关注．近年来，薄膜的研究和应用得到了迅速的发展，并且己形成一个专门的物理学分支一—薄膜物理学。

真空镀膜是一种在许多领域(如电子工业、光学仪器制造、薄膜研究等)中有着广泛应用的实用技术．真空镀脂较之传统的电镀、化学镀具有许多优越性，如纯度高、均匀性好、膜厚可以严格控制、材料种类多样．既可镀金属膜、又可以镀介质膜，而且制备方法简单。

真空泵运行期间易发生的问题

轴承预紧力过大：这种情况会促进轴承游隙削减或无游隙，形成轴承升温。

轰动影响：当泵体或轴承轰动较大时都会发生轴承温度过高的表象，查看泵体找出轰动缘由，消除轰动，则轴承温度***。

光滑表象：光滑脂增加量过大过小，或光滑脂类型不符合，其使用时间过长或许光滑脂被污染都会形成轴承发热。此刻，应查看光滑脂类型，问询厂家适宜的用量，调整好光滑脂即可***轴承温度。

轴承损坏：轴承翻滚体及轴承保持架损坏后都会伴有轴承过热的表象呈现。轴承损坏有必要及时替换新轴承。

扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。真空镀膜机有多种分类，按镀膜工艺技术可以分为蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等。扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化，定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通，在拆装镀膜机各机件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证镀膜密封性能可靠。