广州超高真空***团队在线服务 诺思【优质产品】

中国真空设备制造行业近年来无论是规模、品种还是技术水平都已取得了长足的进步,但整个行业与国外同行业相比,还仍然存在较大差距。

主要表现在：一是企业规模仍然偏小,***散布着数百家生产企业,其中有很大部分都是在以往国有企业中分散出来的家族式或朋友之间股份合作式小微企业,整体实力偏弱；国内企业之间的兼并和收购对于收购方、被收购方以及整个行业都是有利的，可以减弱或者避免过于激烈的价格竞争，提高企业的盈利能力并且通过提高行业集中度改善行业结构。二是大部分企业研发投入少,没有设立真正的研发部门,基本处于接单—设计—生产的简单模式,导致在产品创新等方面远远落后于国外同行,产品同质化现象严重,***产品市场基本被国外同行垄断。

电子束可以很容易的做到几千瓦级的输出，而激光器的一般输出功率在1 kW~5 kW之间。电子束加工的功率能达到激光的数倍，其连续热源功率密度比激光高很多，可达1×107 W/mm2。同时比起激光15%的能量利用率，电子束的能量利用率要高很多，可达到75%。其工作过程与首级完全一样，只是在第二级射汽抽气器的扩压管里，蒸汽和空气的混合气体压力升高到比大气压力略高一点，经过冷却器把蒸汽凝结成水，空气排到大气里。

激光在理论上光斑直径可达1 nm，但在实际应用中一般达不到。而电子束则可以通过调节聚束透镜的电流来对焦，束径可以达到0.1 nm。因而可以作到极细的聚焦。加工出的产品粒度高，纯度高，性能更优越。

气体及控制系统。

***气是进行磁控溅射时应用***广泛的气体。在溅射时，***气的多少直接关系到溅射速率以及溅射的均匀性等，因此需要严格控制气体的进气量，一般用质量流量计来实现控制。

溅射功率的增加会提高膜厚的均匀性、溅射速率，随着溅射功率的增加，等离子体的面积增大，因此膜层的均匀性会提高。功率的增大，能提高***气的电离度，增大溅射出的靶材原子数量，从而提高了溅射速率。