发布时间:2020-02-17 04:58:33
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重视设备的更新改造,坚持设备更新、修理改造、挖潜增效相结合,不断提高设备的兼容性和自动化程度,缩短工装夹具更换时间,提高劳动生产率与设备利用率,提升产品的质量与价格优势,扩大市场占有率。
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,绥化红外材料制备系统,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,红外材料制备系统制造商,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统来说,红外材料制备系统价格,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。
干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止造成污染,适合用干式真空泵;
用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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