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用磁控靶源溅射金属和合金很容易，点火和溅射很方便。这是因为靶（阴极），等离子体，和被溅零件真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源，回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵，溅射速率很小，同时接地技术很复杂，因而难大规模采用。为解决此问题，发明了磁控反应溅射。就是用金属靶，加入反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化，与反应气体化合生成氮化物或氧化物。

真空蒸发镀膜行业简介

真空蒸发镀膜是用空心阴极电子枪利用低电压，大电流的空心阴极放电产生的等离子电子束作为加热源。空心阴极电子枪用空心的钽管作为阴极，坩锅作为阳极，钽 管附近装有辅助阳极。利用空心阴极电子枪蒸镀时，产生的蒸发离子能量高，离化率也高，因此，成膜质量好。空心阴极电子枪对真空室的真空度要求比e型电子枪 低，而且是使用低电压工作，沈阳真空设备厂家，相对来说，沈阳真空设备哪家好，设备较简单和安全，造价也低。目前，在我国e型电子枪和空心阴极电子枪都已成功地应用于蒸镀及离子镀的设备中。

真空镀膜机在使用之前应该做好的检查以免在使用的过程中出现故障。

　　1.主机齿轮箱、牵引减速箱应该时常加油，沈阳真空设备，更换齿轮油。

　　2.新机请在使用10天左右更换新齿轮油，沈阳真空设备厂，以确保各转动部位正常运转。

　　3.注意加油，防止卡住和过热损坏。4.还应检查各连接部位的固紧情况，防止罗栓松动。

　　5.泡管中的压缩空气应保持适量。6.启动主电机时，应先启动电机后慢慢加速；关闭主电机，应先减速后再关机。在安装车灯镀膜机的时候应该注意调整好挤出机机头中心线和牵引辊中心保持水平垂直，收卷时由于收卷外径逐渐增大车灯镀膜机请注意牵引速度与收卷速度的配合，请及时调整。

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