发布时间:2020-01-17 23:59:58
用磁控靶源溅射金属和合金很容易,真空,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。
镀膜设备在建筑玻璃和汽车玻璃上的应用:
建筑玻璃有透光和隔热两个基本功能。普通玻璃能透过绝大部分太阳光辐射能量,这对采光和吸收太阳光线的能量十分有利。而对于空间红外辐射,普通玻璃虽能阻止室内的热量直接透过室外,但热量被玻璃吸收后的二次散热也会造成很大的损失。随着经济的发展,普通玻璃已越来越不能满足人们的要求。而阳光控制膜和低辐射膜正好能弥补了普通玻璃在这一方面的不足。
真空热处理炉是近年来得到较大发展的***热处理设备,工件是在超低气压的空间里进行加热和冷却的。它具有质量好、节能、安全和污染少等优点。
真空炉的发热体用低压电,但电源电压仍为380V,操作时仍需要安全用电。
真空炉制造时,应确保不漏气、不漏水。真空炉炉体和炉盖等的密封是用橡胶件,因此需要用水隔层进行冷却。若水漏到炉膛里时,炉膛温度很高,真空储存,会引起炸裂。真所以真空炉装料后应关闭炉门,将炉膛抽成真空后,方可通电加热。
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