超高真空-真空-天成【稳健创新】

电子束烧结快速成形技术是在成形技术和大功率电子束蓬勃发展的基础上开始出现并迅速发展起来的一项新的***制造技术。该技术借鉴了快速原型技术“离散/堆积”的增材制造思想，真空薄膜，它正逐渐成为一种新的生产方式。

电子束熔覆/烧结技术，在国内外均刚刚起步，是目前快速制造技术研究的热点，也是电子束烧结技术发展的一个趋势。它由产品三维CAD模型数据直接驱动高能量密度热源—电子束，通过熔覆/烧结来组装材料微滴单元而直接快速制造出任意形状并具有特种性能的材料或零构件。

沈阳诺思真空技术有限公司成立以来，一直致力于真空应用技术的发展与进步，真空，设计全部采用三维立体软件，长期与中科院长春光机所、北方夜视集团、西安应用光学研究所、中船重工717所、西安北方捷瑞光电科技有限公司、中电集团第33所、云南北方驰宏光电有限公司、中物院激光聚变研究中心等科研单位合作，并且在极高真空应用领域已拥有较高的声誉。

罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，超高真空，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，真空材料处理，要防止造成污染，适合用干式真空泵；

用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。